臭氧是一種強氧化劑，與還原態污染物反應時速度快，使用方便，不產生二次污染，可用于污水的消毒、除色、除臭、去除有機物和降低COD等。單獨使用臭氧氧化法造價高、處理成本昂貴，且其氧化反應具有選擇性，對某些鹵代烴及農藥等氧化效果比較差。

為此，近年來發展了旨在提高臭氧氧化效率的相關組合技術，其中UV/O3、H2O2/O3、UV/H2O2/O3等組合方式不僅可提高氧化速率和效率，而且能夠氧化臭氧單獨作用時難以氧化降解的有機物。由于臭氧在水中的溶解度較低，且臭氧產生效率低、耗能大，因此增大臭氧在水中的溶解度、提高臭氧的利用率、研制高效低能耗的臭氧發生裝置成為研究的主要方向。