低溫等離子體水處理技術，包括高壓脈沖放電等離子體水處理技術和輝光放電等離子體水處理技術，是利用放電直接在水溶液中產生等離子體，或者將氣體放電等離子體中的活性粒子引入水中，可使水中的污染物徹底氧化分解。

水溶液中的直接脈沖放電可以在常溫常壓下操作，整個放電過程中無需加入催化劑就可以在水溶液中產生原位的化學氧化性物種氧化降解有機物，該項技術對低濃度有機物的處理經濟且有效。

此外，應用脈沖放電等離子體水處理技術的反應器形式可以靈活調整，操作過程簡單，相應的維護費用也較低。受放電設備的限制，該工藝降解有機物的能量利用率較低，等離子體技術在水處理中的應用還處在研發階段。