SCWO是以超臨界水為介質，均相氧化分解有機物。可以在短時間內將有機污染物分解為CO2、H2O等無機小分子，而硫、磷和氮原子分別轉化成硫酸鹽、磷酸鹽、硝酸根和亞硝酸根離子或氮氣。美國把SCWO法列為能源與環境領域最有前途的廢物處理技術。

SCWO反應速率快、停留時間短；氧化效率高，大部分有機物處理率可達99%以上；反應器結構簡單，設備體積小；處理范圍廣，不僅可以用于各種有毒物質、廢水、廢物的處理，還可以用于分解有機化合物；不需外界供熱，處理成本低；選擇性好，通過調節溫度與壓力，可以改變水的密度、粘度、擴散系數等物化特性，從而改變其對有機物的溶解性能，達到選擇性地控制反應產物的目的。

超臨界氧化法在美國、德國、瑞典、日本等歐美國家已經有了工藝應用，但中國的研究起步較晚，還處于實驗室研究階段。