電子制造行業(yè)對水質(zhì)要求極高，其生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的清洗廢水含有微量金屬離子和有機(jī)物，需深度處理后方可回用。微濾（MF）、納濾（NF）與反滲透（RO）三級膜組合工藝是實現(xiàn)高質(zhì)量回用的關(guān)鍵技術(shù)路徑。

工藝流程

微濾預(yù)處理：去除懸浮物和膠體；

納濾攔截：去除部分硬度、TOC和溶解性有機(jī)物；

反滲透深度處理：截留離子和小分子污染物，獲得超純水。

系統(tǒng)特點

出水電導(dǎo)率 < 10 μS/cm；

回用率可達(dá)70–90%；

運(yùn)行穩(wěn)定，自動化程度高。

工程應(yīng)用

某半導(dǎo)體企業(yè)建立MF-NF-RO系統(tǒng)處理晶圓清洗廢水，日回用量達(dá)800 m3，年節(jié)約自來水成本約200萬元，投資回報周期為3年。